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    來源: 發布時間:2025-10-15

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    2013年12月起,田中貴金屬工業開始提供使用次微米級金粒子膏材"AuRoFUSE?",通過高精密網版印刷法在基板上一次印刷即可形成微細復合圖案的技術。這一技術使得復雜的MEMS結構能夠通過簡單的印刷工藝實現,很好降低了制造成本和工藝復雜度。在MEMS代工制造領域,AuRoFUSE?技術也發揮著重要作用。田中貴金屬工業與MEMSCORE公司簽訂共同研發協議,針對次微米大小金粒子MEMS裝置的圖案形成技術展開技術合作,建立了從MEMS零件的試作到安裝的代工制造廠能力。這種合作模式為MEMS廠商提供了從材料研發到設備組裝的一站式解決方案。12制備燒結金膠答疑解惑燒結金膠低溫的,在汽車電子中應用,提升導電性。

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    在熱學性能方面,產品表現尤為突出。標準膏材的熱導率大于 150W/m?K,預制件的熱導率更是高達 200W/m?K。這種優異的熱導率特性使得 AuRoFUSE?在需要高效散熱的功率器件和 LED 應用中具有不可替代的優勢。在機械性能方面,產品展現出了良好的柔韌性和強度平衡。標準膏材的楊氏模量為 9.5GPa,剪切強度為 30MPa;預制件的楊氏模量為 57GPa,剪切強度大于 30MPa。這種適中的機械性能既保證了良好的應力緩沖能力,又確保了足夠的連接強度。產品的化學穩定性是其長期可靠性的重要保障。由于主要成分是具有高度化學穩定性的金,AuRoFUSE?預制件在貼裝后也具有較好的可靠性。

    在MEMS 氣密封裝應用中,AuRoFUSE?技術具有獨特的優勢。"AuRoFUSE?" 膏材所形成的密封外框,經熱壓(200℃、100MPa)使金粒子燒結體變形后,組織變得更加精密,從而實現高真空氣密封裝,氦氣泄漏率可達 1.0×10^-13 Pa?m3/s。這一極高的密封性能對于需要高真空環境的 MEMS 器件至關重要。產品在 MEMS 應用中的另一個重要優勢是其圖案形成能力。2013 年 12 月起,田中貴金屬工業開始提供使用次微米級金粒子膏材 "AuRoFUSE?",通過高精密網版印刷法在基板上一次印刷即可形成微細復合圖案的技術。這一技術使得復雜的 MEMS 結構能夠通過簡單的印刷工藝實現,很好降低了制造成本和工藝復雜度。燒結金膠高效的,用于 MEMS 氣密封裝,增強耐腐蝕性。

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