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超聲掃描顯微鏡的檢測精度能達到什么水平？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-10-25

現代超聲掃描顯微鏡的檢測精度已提升至微米級，例如25MHz探頭可識別0.37毫米的缺陷，15MHz探頭可檢測1.0毫米以上的分層。其分辨率取決于樣品與換能器狀態，理論上可達到半波長（λ/2）的極限。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司

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簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業從事半導體檢測設備研發、生產、銷售為一體的科技型企業。

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水浸式超聲掃描儀2

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杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-28

在半導體封裝領域，**設備通過多頻段探頭（5-400MHz）實現從宏觀結構到微米級缺陷的檢測。例如，Sonoscan的AW64系列采用全反射成像技術，可抑制信號偽影，將缺陷定位誤差控制在±1%以內。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-10-28

針對2.5D/3D封裝中的微凸點連接質量檢測，超聲掃描顯微鏡可分辨0.1微米級的界面缺陷。其穿透深度與材料聲阻抗相關，高聲阻抗固體中頻率越高、穿透深度越淺，反之則不受頻率限制。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司

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水浸式超聲掃描儀

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