在等離子體清洗設(shè)備的高頻電源中，電感如何實現(xiàn)阻抗匹配？

蘇州谷景電子有限公司2025-10-31

等離子體的阻抗是高度非線性和變化的。為了將高頻電源（如13.56MHz）的功率有效地傳輸?shù)降入x子體負載，必須使用阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。該網(wǎng)絡(luò)通常由可調(diào)電感和可調(diào)電容構(gòu)成L型、π型或T型電路。電感在其中通過改變其感抗值，與電容協(xié)同工作，動態(tài)地補償?shù)入x子體的電抗部分，并將負載阻抗變換為電源所要求的阻值（通常是50Ω）。這能確保絕大部分功率被等離子體吸收，而不是被反射回電源，從而穩(wěn)定等離子體、提高工藝重復(fù)性并保護昂貴的高頻電源。

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