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    來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-11-06

    所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動(dòng)板,所述分隔板右端放置有蓄水箱,所述蓄水箱上端靠近右側(cè)連接有進(jìn)水管,所述回流管下端連接有抽水管,所述抽水管內(nèi)部上端設(shè)置有三號(hào)電磁閥,所述裝置主體前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述分隔板與承載板相互垂直設(shè)置,所述電解池內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計(jì)為5°。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述進(jìn)液管的形狀設(shè)計(jì)為l型,且進(jìn)液管貫穿分隔板設(shè)置在進(jìn)液漏斗與伸縮管之間。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述圓環(huán)塊通過(guò)伸縮桿活動(dòng)安裝在噴頭上方,且噴頭通過(guò)伸縮管活動(dòng)安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述回流管與進(jìn)水管的形狀均設(shè)計(jì)為l型,所述傾斜板的傾斜角度設(shè)計(jì)為10°。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述活動(dòng)板前端設(shè)置有握把,活動(dòng)板與裝置主體之間設(shè)置有鉸鏈,且活動(dòng)板通過(guò)鉸鏈活動(dòng)安裝在裝置主體前端。作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案,所述控制面板的輸出端分別與增壓泵、一號(hào)電磁閥、二號(hào)電磁閥和三號(hào)電磁閥的輸入端呈電性連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:該回收處理裝置通過(guò)在增壓泵下端設(shè)置有回流管,能夠在蝕刻液電解后,啟動(dòng)增壓泵并打開(kāi)一號(hào)電磁閥。BOE蝕刻液專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家。蘇州銀蝕刻液蝕刻液哪里買(mǎi)

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    當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問(wèn)題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,因此,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達(dá)到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121滴下至該基板20上。由上述的實(shí)施說(shuō)明可知,本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備與現(xiàn)有技術(shù)相較之下,本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現(xiàn)象。廣州銅蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)維信諾用的哪家的蝕刻液?

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    技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題即在于提供一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機(jī)的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異常現(xiàn)象,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢(shì)。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,本實(shí)用新型提出一種擋液板結(jié)構(gòu),適用于一濕式蝕刻機(jī),擋液板結(jié)構(gòu)包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿第二擋板且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板與第二擋板呈正交設(shè)置,且第二擋板與第三擋板呈正交設(shè)置。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中第二擋板的長(zhǎng)度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。

    內(nèi)嵌觀察窗402通過(guò)觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部,工作人員可通過(guò)內(nèi)嵌的透明窗對(duì)內(nèi)部的制備狀況進(jìn)行實(shí)時(shí)查看,從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實(shí)時(shí)性。推薦的,鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9,在進(jìn)行制備時(shí)需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進(jìn)行均勻調(diào)和,由于熱水與鹽酸接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng),濺出容易傷害工作人員,通過(guò)設(shè)置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi),從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度,很好的起到了保護(hù)作用。推薦的,裝置底座5的內(nèi)部?jī)蓚?cè)緊密焊接有加固支架10,由于制備裝置為一體化裝置,承載設(shè)備較多,質(zhì)量較重,對(duì)底座會(huì)產(chǎn)生較大的壓力,通過(guò)設(shè)置加固支架10,加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu),利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對(duì)裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的,制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11,由于制備裝置在進(jìn)行制備時(shí)會(huì)發(fā)***熱反應(yīng),使得裝置外殼穩(wěn)定較高,工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險(xiǎn),通過(guò)設(shè)置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。推薦的,高效攪拌裝置2是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤(pán)12。使用蝕刻液,實(shí)現(xiàn)高精度圖案制作。

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    該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿該第二擋板12且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設(shè)置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設(shè)置,以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣,在一實(shí)施例中,該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長(zhǎng)度h介于10cm至15cm之間,而該等開(kāi)設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥(niǎo)排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合;在本實(shí)用新型其一較佳實(shí)施例中,開(kāi)設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥(niǎo)排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細(xì)現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時(shí),則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請(qǐng)一并參閱圖4圖5所示。選擇蘇州博洋化學(xué)股份有限公司,安心,放心,舒心。廣州銅蝕刻液蝕刻液

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    從蝕刻速度及安全性的觀點(diǎn)來(lái)看,推薦為40℃至70℃,更推薦為45℃至55℃。處理時(shí)間視對(duì)象物的表面狀態(tài)及形狀等而變化,通常為30秒至120秒左右。實(shí)施例然后,對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例與比較例一起進(jìn)行說(shuō)明。此外,本發(fā)明并非限定于下述實(shí)施例而解釋。制備表1及表2所示的組成的各蝕刻液,在下述條件下進(jìn)行蝕刻試驗(yàn)及蝕刻液的穩(wěn)定性試驗(yàn)。此外,表1及表2所示的組成的各蝕刻液中,剩余部分為離子交換水。另外,表1及表2所示的鹽酸的濃度為以氯化氫計(jì)的濃度。(蝕刻試驗(yàn))通過(guò)濺鍍法在樹(shù)脂上形成50nm的鈦膜,然后成膜200nm的銅膜,進(jìn)而通過(guò)電鍍銅在該銅膜上形成圖案,將所得的基板用作試樣。使用銅的蝕刻液,將試樣的濺鍍銅膜溶解而使鈦膜露出。然后,將試樣浸漬在實(shí)施例1至實(shí)施例12及比較例1至比較例3的蝕刻液中進(jìn)行蝕刻實(shí)驗(yàn)。將實(shí)驗(yàn)結(jié)果示于表1。[表1]像表1所示那樣,本發(fā)明的蝕刻液可在不蝕刻銅的情況下選擇性地蝕刻鈦。(蝕刻液的穩(wěn)定性試驗(yàn))將實(shí)施例1、實(shí)施例7、實(shí)施例12及比較例4的蝕刻液在室溫下放置2天后,進(jìn)行所述蝕刻試驗(yàn),比較放置前后的蝕刻速度。將比較結(jié)果示于表2。[表2]像表2所示那樣,本發(fā)明的蝕刻液的保存穩(wěn)定性優(yōu)異,即便在長(zhǎng)期保存的情況下也可穩(wěn)定地選擇性地蝕刻鈦。蘇州銀蝕刻液蝕刻液哪里買(mǎi)

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