無論是芯片設計的可靠性驗證測試,或是晶圓量產中的WAT測試和CP測試,探針臺在其中起著至關重要的作用。探針臺設備主要技術壁壘在系統的精細定位、微米級運動以及高準確率通信等關鍵參數。目前全球主要探針臺市場仍主要被美、日、韓等國所占據。近年來在國家對半導體產業的大力扶持下,國產化技術的發展進程不斷加快,中國半導體設備企業將加速迎來國產替代的機會。在國內半導體設備市場中,探針臺是我國目前能實現高國產化率的設備。探針臺基本配置包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等。武漢探針臺系統
低溫探針臺是用來無損檢測樣品的電性能,用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域,是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離,智能熱管理,使用低排放的材料,先進的密封性,使該系統非常適合一系列需要更好的真空水平的應用,如石墨烯的研究,分子電子學等的,系統采用閉式循環制冷機和專有的熱管理,可以經濟快速的操作。內置的隔振小化振動符合行業標準。超穩定的微操縱滿足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統有以下特點:1、在真空探針臺下進行完整的霍爾效應測試的系統。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k,采用閉循環制冷機制冷,不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件,可以做簡單的系統操作、數據采集和分析。5、支持多載流子分析數據導出。上海SiC探針臺探針臺廣泛應用于科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。
對于一些實驗室或者研究機構來說,手動探針臺是必不可少的設備,但是這類設備在市面上的廠家非常多,尤其是現在互聯網非常發達,百度搜索至少可以找到上百個廠家。這么多廠家應該如何選擇?哪個廠家比較好?下面小編就給大家介紹一下選購手動探針臺該注意的地方。具體如下:1、定位一定要準確:購買手動探針臺很重要的一點就是定位要準確,如果定位不準確,實驗數據就會出現很大偏差,得出的實驗結果自然也不符合事實依據。所以在采購這類設備的時候,需要了解設備的定位情況,只有保證準確度,才能保證實驗結果,才能避免企業花費大量時間做無用功。2、操作要簡單:雖然這種設備看起來很復雜,但是操作是不能復雜的,因為復雜的操作流程很容易導致實驗數據出現誤差,所以這一點大家一定要注意。只有操作簡單,才能夠讓實驗變得更加便利,誤差也能夠降到低點,這樣才更符合企業的利益。3.操作要沒有危險:現在人們對于避免危險意外越來越重視,所以企業在采購手動探針臺的時候,一定要提前了解操作安全,如果這一點無法保證,可能會對企業口碑造成很大影響。因為現在工作環境存在危險隱患,一旦被有關部門發現,很有可能會被要求停業整改,這樣會給企業造成非常大的損失。
探針臺應用手動探針臺廣泛應用于,科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IV CV脈沖/動態IV等參數。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件(如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。
高精度探針臺例如OTS,QPU和TTG相關技術,這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS對正系統(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術,來源于TSK的度量技術。OTS實現了以自己為參照的光學對準系統。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統)為了有效的達到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機械轉換裝置(QPU),達到高剛性,高穩定度的接觸。特性3:裝載部件令客戶滿意的測試環境,可以提供從前部開始的通常的8",12"及基本檢查單元。也為自動物料輸送系統應用做好了準備。特性4:TTG(一點即到)更加方便的操作,UF3000采用在顯示屏上點一下,相關的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關的設定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。超高頻測試探針臺系統。成都磁場探針臺
半導體設備市場中,探針臺是我國目前能實現高國產化率的設備。武漢探針臺系統
到手動探針臺,它的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。它是陳本比較高的儀器,不光是要在使用時好好維護,不用時也需要好好保存。怎樣保存呢?1、儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。儀器運輸應使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。2、避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺時應避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發生故障或異常異音。3、停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護手動探針臺壽命。4、手動探針臺應放在穩定可靠的臺面上,比如具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。5、使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械部件,光學部件,電學接觸面污染,導致儀器精度降低。探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發生故障或危險。探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精是易燃物,使用是要注意。武漢探針臺系統
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