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二、相對(duì)真空計(jì)的主要類型1.熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)是利用氣體在不同壓力下對(duì)熱量傳遞的影響來測(cè)量真空度的。在低真空范圍內(nèi),其測(cè)量精度高,穩(wěn)定性好。但由于其依賴氣體的熱傳導(dǎo)性質(zhì),因此在不同氣體組分的環(huán)境下,可能需要進(jìn)行校準(zhǔn)。2.電離真空計(jì)電離真空計(jì)的工作原理是通過電場(chǎng)加速電子,使氣體分子電離,從而產(chǎn)生電流。該電流的大小取決于氣體分子的數(shù)量和能量,因此可以作為測(cè)量真空度的依據(jù)。電離真空計(jì)適用于測(cè)量高真空和超高真空范圍,且響應(yīng)速度快,但對(duì)使用環(huán)境要求較高。隨著真空技術(shù)的普及,大量應(yīng)用于單晶爐設(shè)備,真空計(jì)滿足光伏行業(yè)基礎(chǔ)單晶硅生產(chǎn)。EDKORS真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

真空計(jì)用于測(cè)量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓,是一種使用***的儀表。真空計(jì)的種類有很多,適用范圍也各有不同。掌握常見的真空計(jì)種類有利于正確選擇真空計(jì)類型。真空計(jì)可分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。一、***真空計(jì)能從液柱高度、比重等本身測(cè)得的物理量直接計(jì)算出氣體壓力的真空計(jì)。***真空計(jì)測(cè)量精度較高,主要用作基準(zhǔn)量具。原理:在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端與待測(cè)壓力的真空容器相連,另一端是封死的或開口與大氣相通。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測(cè)出被測(cè)真空系統(tǒng)的壓力。測(cè)量范圍:粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)2.壓縮式真空計(jì)(麥克勞真空計(jì))原理:把待測(cè)壓強(qiáng)氣體的一部分進(jìn)行隔離并加以壓縮,直到壓強(qiáng)增大到可以直接測(cè)量的程度。 機(jī)械真空計(jì)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)對(duì)低真空和高真空的測(cè)量不能用一種真空計(jì)來完成,而應(yīng)采用復(fù)合真空計(jì),較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計(jì)。

復(fù)合真空計(jì)播報(bào)編輯討論上傳視頻由熱偶與熱陰極電離真空計(jì)組成的真空測(cè)量裝置復(fù)合真空計(jì)是將熱偶真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)組合而成的寬量程真空測(cè)量設(shè)備,測(cè)量范圍覆蓋大氣壓至10??Pa [2]。熱偶真空計(jì)通過氣體熱傳導(dǎo)效應(yīng)測(cè)量102-10?1Pa區(qū)間的低真空,熱陰極電離真空計(jì)利用電子碰撞電離原理檢測(cè)10?1-10??Pa范圍的高真空。兩種真空計(jì)在10?1Pa量級(jí)通過自動(dòng)切換機(jī)制銜接,有效避免電離規(guī)管在高壓強(qiáng)工況下?lián)p壞 [1] [4]。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、電子束焊接等工業(yè)場(chǎng)景,具備自動(dòng)校準(zhǔn)與多通道控制功能
那么仔細(xì)想想,當(dāng)我們喝牛奶的時(shí)候,喝口服液的時(shí)候,瓶子里的低氣壓狀態(tài)是不是都可以稱作“真空計(jì)”呢?更簡單一點(diǎn),用手堵住針管的一段,拉動(dòng)活塞,針管里面就是真空狀態(tài)。不可思議?沒關(guān)系,我們先來看看真空發(fā)現(xiàn)的歷史。小課堂早在1643年,意大利物理學(xué)家托里拆利(Torricelli)就做了一個(gè)***的大氣壓實(shí)驗(yàn)——托里拆利實(shí)驗(yàn)。他在一段封閉的玻璃管中裝滿**(Hg),然后將玻璃管倒扣在盛有**的小槽中,玻璃管中的**在重力作用下會(huì)下降,他發(fā)現(xiàn),當(dāng)**柱高度下降到760mm時(shí)就不再下降,托里拆利認(rèn)為玻璃管上端的空隙就是“真空”狀態(tài)。同時(shí)這個(gè)實(shí)驗(yàn)也得出結(jié)論,一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓強(qiáng)約為760mm汞柱。為改善真空計(jì)性能及提高真空測(cè)量準(zhǔn)確度,必須突出主要現(xiàn)象,寄生現(xiàn)象。表1給出一些真空計(jì)的壓力測(cè)量范圍。

上海諾丞儀器真空計(jì)的基本工作原理電離真空計(jì)的應(yīng)用主要基于測(cè)量氣體分子的電離。其種類包括熱陰極和冷陰極電離真空計(jì),適合不同真空范圍的測(cè)量。該計(jì)器通過檢測(cè)電離產(chǎn)生的離子流來確定真空室中的氣體壓強(qiáng)值,影響測(cè)量結(jié)果的因素?zé)崤颊婵沼?jì)的測(cè)量結(jié)果受氣體種類及溫度變化影響。此外,熱絲可能會(huì)因氧化導(dǎo)致零點(diǎn)漂移,從而帶來測(cè)量誤差。因此,在進(jìn)行測(cè)量時(shí),需根據(jù)氣體種類進(jìn)行相應(yīng)的修正,使用者應(yīng)定期調(diào)整加熱電流,并重新校正電流值。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分.否則會(huì)對(duì)真空計(jì)造成很大誤差。認(rèn)可真空計(jì)維修電話
電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。EDKORS真空計(jì)技術(shù)參數(shù)
工作原理與分類 根據(jù)物理效應(yīng)差異,真空計(jì)可分為以下三大類: 力學(xué)性能類 原理:利用氣體壓力引起的機(jī)械形變或電容變化。 典型儀器:波爾登規(guī)(Bourdon)、薄膜電容規(guī)(測(cè)量范圍:101325~133.32Pa)。 特點(diǎn):適用于腐蝕性氣體和可凝蒸汽。 熱交換類(氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)) 原理:基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性,如皮拉尼真空計(jì)通過加熱絲電阻變化推斷壓力(測(cè)量范圍:5×10??~1000Pa)。 典型儀器:皮拉尼電阻規(guī)、熱電偶規(guī)。 帶電粒子效應(yīng)類 原理:利用氣體電離產(chǎn)生的電流與壓力成正比的關(guān)系。 典型儀器:熱陰極/冷陰極電離規(guī)(測(cè)量范圍:10??~10?1?Pa)。 特點(diǎn):高精度但易受污染,需避免油蒸氣。EDKORS真空計(jì)技術(shù)參數(shù)