極測(南京)高精密環控設備潔凈度達 ISO Class 1
極測(南京)技術有限公司,其關鍵技術成果 —— 自主研發的高精密環境控制設備,已穩定具備 ISO Class 1 級潔凈標準,作為國內掌握該級別潔凈環境控制技術的企業之一,為我國高duan制造領域關鍵設備的長期環境保障提供關鍵技術支撐。
ISO Class 1 級潔凈標準是國際公認的極高潔凈度等級,要求每立方米空氣中粒徑≥0.1μm 的微粒數不超過 10 個,對氣流控制、過濾精度、區域溫控等關鍵技術指標提出嚴苛要求,廣泛應用于半導體光刻機、涂膠顯影機等對環境潔凈度極為敏感的高duan裝備領域。極測(南京)通過多維度技術創新,保障了這一高標準的長期穩定運行。
在氣流控制設計上,該系統采用垂直單向流架構,確保潔凈氣流覆蓋控制區域;同時引入計算流體力學(CFD)氣流模擬仿真技術,通過精細化仿真優化氣流分布路徑,有效規避傳統系統中易出現的渦流死角問題,從源頭減少微粒滯留風險,保障潔凈環境的均勻性與穩定性。
針對高duan設備的個性化需求,極測(南京)進一步在光刻機、涂膠顯影機等關鍵設備內部,精zhun設置專屬關鍵溫控區。通過定制化溫控算法與高精度傳感技術聯動,將關鍵區域的溫度控制精度提升至±2mK(±0.002℃),既滿足 ISO Class 1 級潔凈度要求,又為設備關鍵部件的穩定運行提供恒溫保障,解決了 “高潔凈” 與 “高精度控溫” 協同的行業難題。
據極測(南京)技術負責人介紹,公司高精密環境控制設備潔凈過濾系統長期符合 ISO Class 1 級潔凈標準,是企業在該領域多年技術積累的體現。該系統的應用,為國內半導體、微電子等高duan制造產業提供本土化的高潔凈環境解決方案,助力我國高duan裝備自主化進程持續推進。未來,公司將持續深化技術研發,為行業高質量發展注入新動能。