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晶圓鍵合缺陷檢測中，如何選擇合適的超聲探頭頻率？

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杭州芯紀源半導體設備有限公司2025-09-13

探頭頻率選擇需綜合考慮材料密度與內部結構：低頻探頭（如5MHz）適用于檢測厚晶圓或低密度材料（如銅鋁鍵合），可提升穿透力；高頻探頭（如100MHz以上）用于高分辨率檢測（如硅-硅鍵合），能識別微米級空洞。

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簡介：杭州芯紀源半導體設備有限公司是一家專業從事半導體檢測設備研發、生產、銷售為一體的科技型企業。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-09-16

對于晶圓鍵合界面檢測，若材料聲阻抗差異大（如硅-玻璃鍵合），需選用中頻探頭（20-50MHz）平衡穿透力與分辨率；若檢測多層結構（如2.5D/3D封裝），需采用可調頻探頭以適應不同深度缺陷。

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杭州芯紀源半導體設備有限公司 2025-09-17

實際檢測中，需根據晶圓厚度與缺陷類型調整頻率：薄晶圓（<200μm）適用高頻探頭（>150MHz）以避免信號衰減；厚晶圓（>500μm）則需低頻探頭（<10MHz）確保穿透力；復合材料鍵合需多頻段探頭組合檢測。

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