銀漿無氧烤箱與真空烤箱，銀漿固化效果哪個好？

廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-29

銀漿固化優先選無氧烤箱，關鍵 差異在：①無氧烤箱通過氮氣持續置換保持低氧，更適合銀漿（尤其有機銀漿），避免真空環境導致樹脂載體過度揮發；②溫度均勻性更優（±1℃ vs 真空烤箱 ±2-3℃），銀層電阻一致性更好；③無需頻繁抽真空 / 泄壓，適合連續生產，效率比真空烤箱高 20%-30%。只當銀漿含高沸點溶劑（需負壓輔助揮發）時，真空烤箱更適配，但需配合氮氣回填防氧化。廣東華芯半導體技術有限公司的無氧烤箱，銀漿固化效果在多數場景優于真空烤箱。

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