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    來源: 發布時間:2025-10-02

    本發明涉及回收處理技術領域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術:廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進行回收處理,目前通用的做法是,使用化學方法回收廢液內的銅,或提煉成硫酸銅產品,工藝落后,銅回收不徹底,處理的經濟效益不明顯,有二次污染污染物排放,一旦處理不當往外排放,勢必對水體生態系統造成大的沖擊。市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產生有害氣體而影響空氣環境,也不能在回收結束后對裝置內部進行清理,為此,我們提出一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。技術實現要素:本發明的目的在于提供一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,以解決上述背景技術中提出的市場上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡單的對蝕刻液進行回收處理,不能對蝕刻液進行循環電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉化不充分,而且蝕刻液導入到電解池中會對電解池造成沖擊,進而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會產生有害氣體而影響空氣環境。蝕刻液的價格哪家比較優惠?格林達蝕刻液費用是多少

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    因此存在開發蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中,對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而,為了選擇構成成分的種類和濃度,不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能,實際情況是,與上述同樣,仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題。現有技術文獻**文獻**文獻1:美國公開**第2號技術實現要素:所要解決的課題本發明是為了改善上述以往技術問題的發明,其目的在于,提供用于選擇硅烷系偶聯劑的參數以及包含由此獲得的硅烷系偶聯劑的蝕刻液組合物,所述硅烷系偶聯劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外,本發明的目的在于,提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外,本發明的目的在于,提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外,本發明的目的在于,提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯劑的方法。解決課題的方法為了實現上述目的,本發明提供一種蝕刻液組合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。南京哪家蝕刻液蝕刻液銷售價格蝕刻液的配方是什么?

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    技術實現要素:本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的,本實用新型提出一種擋液板結構,適用于一濕式蝕刻機,擋液板結構包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板,以及一與第二擋板接合的第三擋板,其主要特征在于:第二擋板具有復數個貫穿第二擋板且錯位設置的宣泄孔。如上所述的擋液板結構,其中***擋板與第二擋板呈正交設置,且第二擋板與第三擋板呈正交設置。如上所述的擋液板結構,其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設成一凹槽的態樣。如上所述的擋液板結構,其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之間。

    其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風刀裝置的***風刀的下端部的方向移動。如上所述的蝕刻方法,其中風刀裝置分別借由一設置于該輸送裝置的上端部的***風刀與一設置于該輸送裝置的下端部的第二風刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此,本實用新型所產生的技術效果:本實用新型的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現象,確實達到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。附圖說明圖1:傳統擋液板結構的整體設置示意圖。圖2:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖。圖3:本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖4:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖5:本實用新型擋液板結構其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖。圖6:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖。蘇州博洋化學股份有限公司歡迎新老朋友咨詢。

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    以及一設置于基板下方的第二風刀,其中***風刀與第二風刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設備,其中蝕刻設備可進一步設置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對于風刀裝置一端而設置于擋液板結構的另一端部。如上所述的蝕刻設備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設備,其中擋液板結構與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設備,其中滾輪呈順時針方向轉動,并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風刀裝置的***風刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設備,其中氣體遠離***風刀與第二風刀的方向分別與基板的法線方向夾設有一第三夾角。如上所述的蝕刻設備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達到上述實施目的,本實用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機的一槽體內運行;首先,設置一擋液板結構,其中擋液板結構設置有復數個宣泄孔;接著,使用一設置于擋液板結構下方的輸送裝置輸送一基板,以經過一噴灑裝置進行一藥液噴灑;接續,使用一設置于擋液板結構下方的風刀裝置對基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。格林達蝕刻液費用是多少

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