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為本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，在本實用新型其二較佳實施例中，開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離，例如：圖4中所示的w1，其中w1大于圖3的w或圖5的w2，其中w2大于w，而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現時，則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外，請參閱圖6與圖7所示，為本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的整體結構示意圖，以及擋液板結構運作局部放大圖，其中本實用新型的蝕刻設備1設置于一濕式蝕刻機的一槽體(圖式未標示)內，該蝕刻設備1包括有一如上所述的擋液板結構10、一輸送裝置30、一基板20，以及一風刀裝置40，其中本實用新型主要借由具有復數個宣泄孔121的擋液板結構10搭配該風刀裝置40的硬體設計，有效使該風刀裝置40吹出的氣體43得以由該復數個宣泄孔121宣泄。蘇州博洋生產BOE蝕刻液。安慶市面上哪家蝕刻液銷售價格

并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現象，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50，該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部，且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間，其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上，以對該基板20進行一濕式蝕刻制程；由上述的說明，擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程，故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴，而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上，以避免該基板20的蝕刻不均的現象產生。該輸送裝置30設置于該基板20的下方，該輸送裝置30包括有至少一滾輪31，其中該滾輪31與該基板20接觸以運行該基板20；在本實用新型其一較佳實施例中，該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行，并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作，故該輸送裝置30具有一驅動機構(圖式未標示)以驅動該滾輪31轉動，例如：順時針旋轉。ITO蝕刻液蝕刻液供應商銅蝕刻液哪里可以買到；

本發明涉及蝕刻液組合物及選擇添加于該蝕刻液組合物的硅烷系偶聯劑的方法。背景技術：參照圖1，可以確認3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分。3dnand閃存可以通過在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜的工序(wetremovalofnitride)來制造。在不損傷氧化物膜的同時將氮化物膜完全去除是這樣的氮化物膜去除工序(wetremovalofnitride)的**技術之一。一般而言，氮化物膜去除工序中所使用的蝕刻液組合物利用具有防蝕能力的添加劑以獲得在不損傷氧化物膜的同時*將氮化物膜完全去除的效果。但是，想要在不損傷氧化物膜的范圍內將氮化物膜完全去除時，會使用防蝕能力強的添加劑，由此可能發生氮化物膜沒有被完全去除的工序不良(參照圖2)。此外，想要將氮化物膜完全去除時，會使用防蝕能力弱的添加劑，由此雖然氮化物膜被完全去除，但是可能發生對氧化物膜也造成損傷(damage)的工序不良(參照圖3)。以往，為了在包含氧化物膜和氮化物膜的多層膜中*將氮化物膜選擇性完全去除而選擇具有適當水平的防蝕能力的添加劑時，按照添加劑的種類和濃度通過實驗進行確認。沒有這樣的實驗確認就選擇添加劑實際上是不可能的。

本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產設備。背景技術：鋁蝕刻液生產設備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐，將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻，由過濾器濾去雜質后投入儲存罐中暫存，然后分裝銷售。以往，鋁蝕刻液的分裝由人工操作，隨著自動化技術的興起，全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產企業得到廣泛應用，但是，我司的鋁蝕刻液生產車間面積較小，無法放置自動灌裝線，所以需要對現有的生產設備進行改造，以實現鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術實現要素：本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產設備，以解決上述背景技術中提出的問題。為達前述目的，本實用新型提供的技術方案如下：鋁蝕刻液生產設備，包括混合罐、過濾器、數個儲存罐、數輛液壓升降式拖車和地磅，所述混合罐通過液管與所述過濾器連接，所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管，每個所述儲存罐固定在對應的拖車頂部，所述儲存罐的進液口和出液口處安裝有單向液動閥，所述地磅位于所述過濾器的下方，所述地磅的頂部設置有將所述拖車固定的氣動夾緊機構。在本技術方案中，載有空儲存罐的拖車置于地磅上方，過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中，當地磅所測得的重量達到系統預設重量時。哪家的蝕刻液蝕刻效果好？

因此存在開發蝕刻液組合物時會過度耗費時間和費用的問題。美國公開**第2號公開了在3dnand閃存的制造工序中，對于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而，為了選擇構成成分的種類和濃度，不得不需要測試蝕刻液組合物的蝕刻性能，實際情況是，與上述同樣，仍然沒有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過度耗費時間和費用的問題。現有技術文獻**文獻**文獻1：美國公開**第2號技術實現要素：所要解決的課題本發明是為了改善上述以往技術問題的發明，其目的在于，提供用于選擇硅烷系偶聯劑的參數以及包含由此獲得的硅烷系偶聯劑的蝕刻液組合物，所述硅烷系偶聯劑作為添加劑即使不進行另外的實驗確認也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外，本發明的目的在于，提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外，本發明的目的在于，提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外，本發明的目的在于，提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯劑的方法。解決課題的方法為了實現上述目的，本發明提供一種蝕刻液組合物，其特征在于，包含磷酸、硅烷。ITO蝕刻液的配方是什么？無錫銅蝕刻液蝕刻液價格

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技術實現要素：本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，主要借由具有復數個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計，有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面張力現象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異常現象，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的，本實用新型提出一種擋液板結構，適用于一濕式蝕刻機，擋液板結構包括有一***擋板、一與***擋板接合的第二擋板，以及一與第二擋板接合的第三擋板，其主要特征在于：第二擋板具有復數個貫穿第二擋板且錯位設置的宣泄孔。如上所述的擋液板結構，其中***擋板與第二擋板呈正交設置，且第二擋板與第三擋板呈正交設置。如上所述的擋液板結構，其中***擋板、第二擋板與第三擋板圍設成一凹槽的態樣。如上所述的擋液板結構，其中第二擋板的長度介于10厘米(centimeter，cm)至15厘米(cm)之間。安慶市面上哪家蝕刻液銷售價格