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    來源: 發(fā)布時間:2025-11-05

    一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術:2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術難題,本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。4.具體地,本技術首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調控,并在一定程度上實現了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35BOE蝕刻液廠家直銷價格。上海江化微的蝕刻液蝕刻液價格

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    圖7:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖9:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖11:本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖12:本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明:傳統(tǒng)擋液板結構a擋液板結構b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結構11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風刀裝置41***風刀42第二風刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w、w1、w2距離。具體實施方式首先,請參閱圖2與圖3所示,為本實用新型擋液板結構其一較佳實施例的整體結構示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,其中本實用新型的擋液板結構10適用于一濕式蝕刻機(圖式未標示)。江蘇BOE蝕刻液蝕刻液溶劑蘇州有哪些公司可以做蝕刻液。

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    所述有機硫化合物具有作為還原劑及絡合劑(chelate)的效果。作為所述硫酮系化合物,例如可舉出硫脲、N-烷基硫脲、N,N-二烷基硫脲、N,N-二烷基硫脲、N,N,N-三烷基硫脲、N,N,N,N-四烷基硫脲、N-苯基硫脲、N,N-二苯基硫脲、N,N-二苯基硫脲及亞乙基硫脲等。烷基硫脲的烷基并無特別限制,推薦為碳數1至4的烷基。這些硫酮系化合物中,推薦使用選自由作為還原劑或絡合劑的效果及水溶性優(yōu)異的硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。作為所述硫醚系化合物,例如可舉出甲硫氨酸、甲硫氨酸烷基酯鹽酸鹽、乙硫氨酸、2-羥基-4-(烷硫基)丁酸及3-(烷硫基)丙酸等。烷基的碳數并無特別限制,推薦為碳數1至4。另外,這些化合物的一部分也可經取代為氫原子、羥基或氨基等其他基。這些硫醚系化合物中,推薦為使用選自由作為還原劑或絡合劑的效果優(yōu)異的甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。有機硫化合物的濃度并無特別限制,推薦為%至10重量%,更推薦為%至5重量%。在有機硫化合物的濃度小于%的情況下,無法獲得充分的還原性及絡合效果,有鈦的蝕刻速度變得不充分的傾向,若超過10重量%則有達到溶解極限的傾向。

    如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結構,其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結構,其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達到上述的實施目的,本實用新型另提出一種蝕刻設備,設置于一濕式蝕刻機的一槽體內,蝕刻設備至少包括有一如上所述的擋液板結構、一基板、一輸送裝置,以及一風刀裝置;基板設置于擋液板結構的下方;輸送裝置設置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運行基板;風刀裝置設置于擋液板結構的一端部,風刀裝置包括有一設置于基板上方的***風刀。剝離液可以有正膠和負膠以及正負膠不同的分類。

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    注入量精確調配裝置通過嵌入引流口2接入鹽酸裝罐7進行原料注入,工作人員通過負壓引流器21將鹽酸硝酸引向注入量控制容器18內,通過觀察注入量控制容器18內的注入量觀察刻度線19對注入量進行精確控制,當到達設定的注入量時將限流銷20插入進行限流即可,很好的對注入量進行精確控制,提高了該裝置的制備純度。工作原理:首先,通過設置熱水流入漏斗9,工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內,從而很好的減小了發(fā)生反應的劇烈程度,很好的起到了保護作用。然后,通過設置加固支架10,加固支架10為連接在兩側底座支柱的三角結構,利用三角結構穩(wěn)定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。接著,通過設置防燙隔膜11,防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料,能夠很好的防止工作人員被燙傷,很好的體現了該裝置的防燙性。緊接著,通過設置高效攪拌裝置2,該裝置通過運轉電機組13驅動旋轉搖勻轉盤12,使旋轉搖勻轉盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉搖勻,同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內部的蝕刻液通過內置的致密防腐桿16,致密防腐桿16內部的攪動孔17能夠使蝕刻液不斷細化均勻化,從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕,且成本低廉。金屬蝕刻網會用到蝕刻液嗎;揚州格林達蝕刻液溶劑

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    ITO顯影劑也稱為造影劑或對比劑,是一種X光無法穿透的藥劑,用于讓體內組織在X光檢查時能看得更清楚。例如消化道攝影時,醫(yī)師會讓患者喝下一杯顯影劑溶液(大多含鋇),然后用各種角度照相,就能讓胃腸道看得很清楚。如果顯影只是在光強較大的地方產生游離銀,而對底片不做進一步處理,則把它一拿出暗室,未顯影的鹵化銀就會立刻曝光。此后,幾乎任何還原劑都將使底片完全形成灰霧。為了克服這個問題,必須找到一種適當的物質以除去未還原的鹵化銀。黑白照相中較常用的定影液是硫代硫酸鈉溶液。其中的硫代硫酸根離子(S2O32-)與銀離子形成可溶于水的穩(wěn)定配合物,因而達到“固定”底片的目的。ITO顯影液的市場需求會隨著電子行業(yè)的快速發(fā)展而不斷增長。上海江化微的蝕刻液蝕刻液價格

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