銀漿無氧烤箱固化后銀層表面發黑，怎么解決？

廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-29

發黑多因氧含量超標或雜質污染：①檢測固化階段氧含量曲線，若某時段超 50ppm，需檢修氮氣補氣系統，更換老化密封圈；②檢查銀漿儲存條件，若銀漿開封后暴露空氣超 24 小時，需更換新銀漿（避免銀顆粒氧化）；③清潔腔體，用異丙醇擦拭內壁，去除殘留揮發物，防止高溫分解污染；④過濾氮氣，確保顆粒含量＜10 個 / L，避免雜質附著銀層。處理后銀層應呈亮銀色，無發黑或斑點。廣東華芯半導體技術有限公司的設備，可有效避免銀層發黑問題。

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